2023年12月14日，“2023行家極光獎”頒獎典禮在深圳舉行，數(shù)百家SiC&GaN企業(yè)代表聯(lián)袂而來，共同見證第三代半導體產(chǎn)業(yè)的風采。經(jīng)過行業(yè)專家評委認真遴選評比，中電科風華公司獲得大會“第三代半導體年度設備企業(yè)獎”。該獎項主要授予在第三代半導體領域擁有一定聲望，取得重要成績，技術達到行業(yè)國內(nèi)外先進水平，在推動行業(yè)發(fā)展、技術創(chuàng)新和市場推廣等方面做出優(yōu)異成績或起到引領作用的企業(yè)。
中電科風華公司產(chǎn)品，Mars系列晶圓缺陷檢測設備是第三代半導體材料生產(chǎn)過程中的關鍵設備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。研發(fā)團隊擁有多年半導體量檢測設備的開發(fā)經(jīng)驗，掌握明場、暗場、光致發(fā)光等光學檢測技術。該系列設備現(xiàn)已在國內(nèi)多家頭部襯底、外延、芯片生產(chǎn)企業(yè)上線使用。
未來，風華公司將持續(xù)技術攻關，致力于半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主化、國產(chǎn)化建設，為我國第三代半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展保駕護航！
