新春伊始,中電科風華信息裝備股份有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的全自動激光皮秒打孔設備迎來多家客戶訂單和驗收。
全自動皮秒激光打孔設備是HTCC/LTCC制程中的關鍵設備之一,用于在生瓷片上打出直徑30μm-200μm微孔,打孔數(shù)量高達5000-100000孔/張,而依據(jù)產(chǎn)品材質(zhì)厚度不同,激光加工效率可達300-4000孔/s。本設備打孔質(zhì)量高,熱影響小,微孔圓度可達95%,適用于打微孔,開腔切割,激光打碼,金屬線蝕刻等加工工藝。
公司研發(fā)團隊經(jīng)過兩年不懈努力,成功攻克了激光微加工軟件系統(tǒng)、激光打微孔光學系統(tǒng)、皮秒/飛秒激光打微孔工藝、全自動清潔產(chǎn)品和不間斷上下料系統(tǒng)等關鍵技術,在該設備上同時實現(xiàn)打微孔、切割開腔、打碼標記、金屬線蝕刻等工藝過程,實現(xiàn)一機多用,提高生產(chǎn)加工效率。設備在客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定運行也獲得了良好的口碑。同時,公司研發(fā)的系列雙頭激光打孔設備、飛秒激光打孔設備也以優(yōu)異的性能獲得客戶認可,為公司激光微電子設備布局再添一枚砝碼。